螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求較高的企業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

　　各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應(yīng)用。
 

　　干式螺桿真空泵由于其*的性能，在歐美和日本已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選真空獲得設(shè)備，日本在螺桿壓縮機基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線，并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機體冷卻方面做了很多研究。

　　拆卸步驟：

　　1.未拆卸前，先測量并記錄轉(zhuǎn)子各部分間隙。

　　2.盡量避免用重錘敲打，拆下的零件不得碰傷，妥善保管好。

　　3.真空泵與電機脫離，排空介質(zhì)(防止電機、有毒介質(zhì)傷人);

　　4.拆卸真空泵排出體;

　　5.拆卸真空泵定子，必要時按泵軸方向盤動軸作輔助;

　　6.拆卸轉(zhuǎn)子及中間軸;

　　7.拆卸傳動軸和軸封;

　　8.取出真空泵軸承、定位套，應(yīng)從軸承座內(nèi)取出;將需要更換的零部件的更換原因及使用情況詳細記錄下來。

　　9.長期不用時，要作防銹處理，方法為用防銹脂涂抹非油漆金屬表面，包括軸表面、填料殼體內(nèi)腔等，并進行潤滑。